ASTM F 1228-1989 晶片表面可氧化(有机)碳的测试方法(过硫酸盐法)
作者:标准资料网 时间:2024-05-15 13:11:55 浏览:9490
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【英文标准名称】:TestMethodforOxidizable(Organic)CarbononWaferSurfaces(byPersulfate)
【原文标准名称】:晶片表面可氧化(有机)碳的测试方法(过硫酸盐法)
【标准号】:ASTMF1228-1989
【标准状态】:现行
【国别】:美国
【发布日期】:1989
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(ASTM)
【起草单位】:ASTM
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:试验;硅片;碳;沾污
【英文主题词】:siliconslices;carbon;testing;contamination
【摘要】:
【中国标准分类号】:H80
【国际标准分类号】:29_040_30
【页数】:4P;A4
【正文语种】:英语
【原文标准名称】:晶片表面可氧化(有机)碳的测试方法(过硫酸盐法)
【标准号】:ASTMF1228-1989
【标准状态】:现行
【国别】:美国
【发布日期】:1989
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(ASTM)
【起草单位】:ASTM
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:试验;硅片;碳;沾污
【英文主题词】:siliconslices;carbon;testing;contamination
【摘要】:
【中国标准分类号】:H80
【国际标准分类号】:29_040_30
【页数】:4P;A4
【正文语种】:英语
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